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White Knight (WK)超高纯度计量泵PEM050系列和PPM100系列
White Knight (WK)计量泵可调节流量，适用于单晶片处理/加工工具或预混合容器，以确保准确计量或分配化学混合物，以及可以现场直接进行混合操作。该系列White Knight (WK)计量泵可以在充装、混合、定量和强化应用中准确分配或计量高纯度化学品，以及用于清洗CVD设备和应用于光刻技术。这些White Knight (WK)计量泵是光刻、蚀刻和清洗行业、Piranha混合液中过氧化物强化应用，以及在基质/底物导入之前，将化学混合物掺入处理/加工罐及其它应用的理想选择。
White Knight (WK)计量泵的性能特点
1. 冲程速度完全可调节
2. 安全、无泄漏操作，无需任何维护
3. 无任何金属件暴露，可防止腐蚀和污染
4. 用于超高纯度应用的Teflon®PTFE管路
5. 配备嵌入/弹出装置，安装和维护简便
6. 可任意方向安装
7. 无尘室装置、检测和包装
8. 泄漏检测端口
9. 自吸
10. 体积小
11. 滞留量最小
12. 出入口阀门防止溢流
规格参数
|
|
PEM050 |
PPM100 |
|
配液范围 |
1－50毫升每冲程 |
10－100毫升每冲程 |
|
配液重复率 |
±0.01%（满量程） |
±0.1%（满量程） |
|
循环次数/分 |
达到6CPM |
达到12CPM |
|
每次循环的空气消耗SCF |
1-3 SCFM |
0.038－0.048SCFM |
|
流体管路材质 |
PTFE |
PTFE |
|
气门驱动空气压力 |
4.14－5.86 Bar
(65-85PSI) |
4.14－5.86 Bar
(65-85PSI) |
|
最大出口压力 |
5.51Bar
(80PSI) |
5.86Bar
(85PSI) |
|
耐温性能 |
达到100℃（212℉） |
达到100℃（212℉） |
|
吸程* |
4.6米
15英尺 |
4.6米
15英尺 |
|
通信 |
系列号、以太网或数字 |
－ |
|
可选配泄漏检测装置 |
阀位传感器 |
阀位传感器 |
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